摘要: 力学参量是装备试验过程对性能指标表征的重要参量，受限于高温高压等恶劣环境，常规力学传感器件面临着“测不了”、“测不准”、“测不好”的技术挑战，因此，恶劣环境下力学参量的获取一直是装备试验的难题。随着材料、半导体、微纳加工技术等多学科交叉融合的快速发展，基于新原理、新方法、新材料的传感器技术也得到了长足的发展，尤其是面向恶劣环境的力学参量传感器，正朝着集成化、智能化、低成本、绿色低碳等方向发展。